Félvezető anyagok mikroszerkezet-elemzése és értékelése
Szolgáltatás bemutatása
A nagyméretű integrált áramkörök folyamatos fejlesztésével a chipgyártás folyamata egyre bonyolultabbá válik, a félvezető anyagok rendellenes mikroszerkezete és összetétele pedig hátráltatja a chip hozamának javítását, ami nagy kihívást jelent az új félvezető és integrált áramkörök megvalósításában. áramköri technológiák.
A GRGTEST átfogó félvezető anyagok mikroszerkezet-elemzést és értékelést biztosít, hogy segítse az ügyfeleket a félvezető és integrált áramköri folyamatok fejlesztésében, beleértve a lapkaszintű profil elkészítését és az elektronikus elemzést, a félvezetőgyártással kapcsolatos anyagok fizikai és kémiai tulajdonságainak átfogó elemzését, a félvezető anyagok szennyezőanyag-elemzésének megfogalmazását és megvalósítását. program.
Szolgáltatási kör
Félvezető anyagok, szerves kis molekulájú anyagok, polimer anyagok, szerves/szervetlen hibrid anyagok, szervetlen nemfémes anyagok
Szerviz program
1. A fókuszált ionsugár technológián (DB-FIB), a chip lokális területének pontos levágásán és a valós idejű elektronikus képalkotáson alapuló chip-szelet-profil előkészítése és elektronikus elemzése lehetővé teszi a chip profil szerkezetének, összetételének és egyéb fontos folyamatinformációk;
2. A félvezetőgyártó anyagok fizikai és kémiai tulajdonságainak átfogó elemzése, beleértve a szerves polimer anyagokat, a kis molekulájú anyagokat, a szervetlen nemfémes anyagok összetételének elemzését, a molekulaszerkezet elemzését stb.;
3. Szennyezőanyag-elemzési terv összeállítása és végrehajtása félvezető anyagokra.Segítségével az ügyfelek teljes mértékben megérthetik a szennyező anyagok fizikai és kémiai jellemzőit, beleértve a következőket: kémiai összetétel elemzés, komponens tartalom elemzés, molekulaszerkezet elemzés és egyéb fizikai és kémiai jellemzők elemzése.
Szolgáltatási tételek
| Szolgáltatástípus | Szolgáltatástételeket |
| Félvezető anyagok elemösszetétel-elemzése | l EDS elemanalízis, l Röntgen fotoelektron spektroszkópia (XPS) elemanalízis |
| Félvezető anyagok molekulaszerkezet-elemzése | l FT-IR infravörös spektrumanalízis, l röntgendiffrakciós (XRD) spektroszkópiai elemzés, l Mágneses magrezonancia pop-analízis (H1NMR, C13NMR) |
| Félvezető anyagok mikroszerkezet-elemzése | l Dupla fókuszált ionsugár (DBFIB) szeletelemzés, l Field emission Scanning elektronmikroszkópot (FESEM) használtunk a mikroszkópos morfológia mérésére és megfigyelésére, l Atomerő mikroszkópia (AFM) felületi morfológiai megfigyeléshez |
